设备特点
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- 双模工艺集成
- 设备采用高度灵活的模块化设计，兼具C2W和W2W双模式混合键合；
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- 投资成本降低30%
- 对比分别采购C2W和W2W设备，一体化设计减少冗余模块；
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- 占地面积缩减60%
- 对比分别采购C2W和W2W设备，紧凑型架构减少占地面积；
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- 提升设备模块使用率
- C2W键合作业过程中，等离子活化和清洗模块可用于W2W键合，避免模块闲置、提升使用率；
规格参数
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项目指标
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晶圆尺寸8，12 inch
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芯片尺寸5*8mm—32*32mm
1*1mm—32*32mm -
W2W键合精度≤±100nm
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W2W最大键合力5N
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W2W产能≥12 pairs/h
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C2W键合精度≤±500nm@片间同轴对准
≤±200nm@红外穿透对准 -
C2W最大键合力30N
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C2W产能单键合头>800@200nm@3σ
单键合头>400@50nm@3σ -
控压精度±0.5N
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控压分辨率±0.1N
