
- 青禾晶元半导体科技(集团)有限责任公司
公司核心业务涵盖高端键合装备研发制造与精密键合工艺服务,技术广泛应用于先进封装、半导体器件制造、晶圆级异质材料集成及MEMS传感器等前沿领域,通过“装备制造+工艺服务”双轮驱动,构建全产业链解决方案,已成功开发四大自主知识产权产品矩阵:超高真空常温键合系统、混合键合设备、热压键合装备及配套工艺服务。通过持续技术创新,公司致力于为全球半导体产业链提供高精度、工艺稳定、高性价比的键合装备与方案,助力战略新兴产业崛起。
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- 2020
- 公司成立于2020年
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- 30000+
- 厂区面积30000平方米
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- 5
- 5大研发生产中心
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- 200+
- 国内外专利200余项
技术优势
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- 超高真空技术
- 在超高真空环境中完成活化、对准等工艺,突破真空带来的挑战
01 -
- 表面活化技术
- 掌握了ICP\CCP\FAB等全套表面活化技术,可覆盖全系列键合设备场景
02 -
- 亚微米精准对准技术
- 掌握Face to Face、片间同轴、红外穿透等主流的亚微米对准技术
03 -
- 控温控压技术
- 保证高温、高压均匀性
04 -
- 单片旋涂/清洗技术
- 高速旋转动平衡、防止返溅污染,保证高键合良率
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