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SAB95系列: 超原子束表面处理设备

应用领域涵盖超硬材料（如金刚石）、复杂曲面、光学产品抛光，功能结构表面损伤层去除，半导体薄膜超精密TRIMMING。

技术优势

离子束整体动能高，但每个粒子的平均能量极低，仅作用于浅表层，可避免损伤。

01

可实现原子级别的逐层剥离，显著减少热影响区和应力积累。

02

适用于超精密抛光，并适用于复杂曲面。

03

应用领域

超硬材料高精密抛光(如金刚石等)
曲面和复杂表面高精密抛光
高精密光学镜头抛光
光学晶体抛光、材料局部优化
功能结构表面损伤层去除
半导体薄膜超精密TRIM

系列产品

SAB9500-半自动

超原子束抛光机

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SAB9500是一款半自动的超原子束抛光机，可利用超原子束对2-12寸晶圆或不规则样品进行超精密表面抛光，可加工材料包括Si、SiC、InP、GaAs、GaN、金刚石、LN、LT、光学晶体等。

SAB9510-全自动

超原子束TRIM机

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SAB9510是一款全自动的超原子束表面TRIM机，可通过Cassette自动上下料，适用于半导体薄膜超精密TRIM批量化生产。

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邮箱：sales@isaber-s.com

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