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SAB6210-Fully automatic
Hydrophilic Bonding Equipment

The SAB6210 is a hydrophilic fusion bonding system that utilizes plasma treatment and spin-rinse drying to enrich wafer surfaces with -OH groups, enabling alignment and bonding at room temperature in either atmosphere or vacuum.

4-12 inch
Wafer size
≥2.0 J/m²
Si-SiO₂
Bonding strength after annealing
≤±100 μm
Mechanical alignment
Bonding accuracy
≤±0.5 μm
Optical alignment
Bonding accuracy
WPH≥12
Throughput
SAB6210-Fully automatic Hydrophilic Bonding Equipment
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